碳碳坩埚

碳/碳坩埚主要用于高纯硅晶体生长,承载硅料和石英坩埚;替代等静压石墨,帮助长晶设备装料量提高5倍以上。

密度,g/cm³

≥1.4

弯曲强度(MPa)

≥110

热膨胀系数(10⁻⁶/K)

≤1.0

室温导热系数(W/(m·K))

≤10

使用寿命

>10m

类别: