CFC加热器

CFC加热器

碳/碳主加热器主要用于提供均匀的热量分布，控制温度梯度，促进多晶硅或单晶硅的生长。

密度，g/cm³

≥1.50

室温导热系数（W/(m·K)）

≥40

室温电阻率，μΩ·m

20-30

热态电阻率，μΩ·m

14-20

类别：
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