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CFC 埚托
碳/碳锅托主要用于单晶硅生长的过程中,作为坩埚托架
密度,g/cm³
≥1.3
弯曲强度(MPa)
≥110
热膨胀系数(10⁻⁶/K)
≤1.0
室温导热系数(W/(m·K))
≤10
使用寿命
>12m
类别:
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