CFC 埚托

碳/碳锅托主要用于单晶硅生长的过程中,作为坩埚托架

密度,g/cm³

≥1.3

弯曲强度(MPa)

≥110

热膨胀系数(10⁻⁶/K)

≤1.0

室温导热系数(W/(m·K))

≤10

使用寿命

>12m

类别: